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HECAシリーズ
靜電チャック専用高圧電源
極性反転や交流波形によるスムーズなウエハーの剝離が可能です。単極式(2ch)、雙極式いずれにも対応できオプションでRFフィルターを內(nèi)蔵できます。
· 靜電チャック専用設(shè)計。
· 2ch出力內(nèi)蔵（1kV to 5kVタイプ）。
· 両極性出力。
· RFフィルタ內(nèi)蔵可能（オプション）。
· 電子切換で高速応答も可能（10ms）。
· リレーがないので高信頼、長壽命。
|
出 力 |
モデル名 |
||
|
電 圧[kV] |
電 流[mA] |
リップル[%ms] |
|
|
±1 |
6 |
0.1 |
HECA-1B6×2 |
|
30 |
0.1 |
HECA-1B30×2 |
|
|
±3 |
2 |
0.1 |
HECA-3Ｂ2×2 |
|
10 |
0.1 |
HECA-3Ｂ10×2 |
|
|
±5 |
1 |
0.1 |
HECA-5Ｂ1×2 |
|
6 |
0.1 |
HECA-5Ｂ6×2 |
|
|
±10 |
0.5 |
0.1 |
HECA-10B0.5 |
|
3 |
0.1 |
HECA-10B3 |
|
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公司營業(yè)時間：周一～周五，北京時間【8:30-17:30】
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